效 率:對0.12um粒子捕集效率達99.999%以上(計數法)特 點:高效率、低阻力、運行成本低用 途:ULSI制造工廠、半導體制造工廠、超凈實驗室、研究室等框 材:鋁型材密 封 膠:聚胺脂膠分 隔 物:熱熔膠濾 料:玻纖濾紙運行條件:使用最高溫度:80℃使用最高濕度:100% 密封 條:氯丁橡膠
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