效 率:對(duì)0.12um粒子捕集效率達(dá)99.999%以上(計(jì)數(shù)法)特 點(diǎn):高效率、低阻力、運(yùn)行成本低用 途:ULSI制造工廠、半導(dǎo)體制造工廠、超凈實(shí)驗(yàn)室、研究室等框 材:鋁型材密 封 膠:聚胺脂膠分 隔 物:熱熔膠濾 料:玻纖濾紙運(yùn)行條件:使用最高溫度:80℃使用最高濕度:100% 密封 條:氯丁橡膠
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