效 率：對0.12um粒子捕集效率達99.999%以上（計數法）特 點：高效率、低阻力、運行成本低用 途：ULSI制造工廠、半導體制造工廠、超凈實驗室、研究室等框 材：鋁型材密 封 膠：聚胺脂膠分 隔 物：熱熔膠濾 料：玻纖濾紙運行條件：使用最高溫度：80℃使用最高濕度：100% 密封 條：氯丁橡膠
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